半導体製造装置メーカーでの「プラズマコーティング」の導入事例を教えてください。（ウエハ加工用テープ対策）

半導体ウェハのダイシング工程などで使用される粘着テープが、搬送部品やチャックテーブルに付着・残留する問題がありました。「プラズマコーティング」の高度な非粘着性により、テープの粘着残留を防止し、高精度な加工と安定した搬送を実現した事例があります。